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真空爐，即在爐腔這一特定空間內(nèi)利用真空系統(tǒng)（由真空泵、真空測量裝置、真空閥門等元件經(jīng)過精心組裝而成）將爐腔內(nèi)部分物質(zhì)排出，使爐腔內(nèi)壓強小于一個標準大氣壓，爐腔內(nèi)空間從而實現(xiàn)真空狀態(tài)，這就是真空爐。
真空爐是真空環(huán)境中進行加熱的設備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵系統(tǒng)聯(lián)接。爐內(nèi)加熱系統(tǒng)可直接用電阻爐絲通電加熱，也可用高頻感應加熱。主要用于陶瓷燒成、真空冶煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷-金屬封接等。
真空爐的優(yōu)點
1）完全消除了加熱過程中工件表面的氧化、脫碳，可獲得無變質(zhì)層的清潔表面。這對于那些在刃磨時僅磨一面的刀具（如麻花鉆磨削后使溝槽表面的脫碳層直接暴露于刃口）切削性能的改善關(guān)系很大。
2）對環(huán)境沒有污染，不需進行三廢處理。
3）爐溫測定、監(jiān)控精度明顯提高。熱電偶的指示值與爐溫溫度達到±1.5°c。但爐內(nèi)大批工件不同部位的溫差較大，若采用稀薄氣體強制循環(huán)，仍可控制在±5°c溫差范圍內(nèi)。
4）機電一體化程度高。在溫度測控精度提高的基礎上，工件移動、氣壓調(diào)節(jié)、功率調(diào)節(jié)等均可預先編程設定，按步驟實施淬火和回火。
5）能耗顯著低于鹽浴爐?，F(xiàn)代先進的真空爐加熱室采用很好隔熱材料制成的隔熱墻和屏障，可將電熱能量高度集中于加熱室內(nèi)，節(jié)能效果顯著。
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